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中国国内首条8英寸“超越摩尔”研发中试线正式运营
来源:中新网  作者: 2017年09月11日 13:05
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中国国内首条8英寸“超越摩尔”研发中试线正式运营

    国内首条8英寸“超越摩尔”研发中试线10日在沪正式运营。 主办方 摄

  中新网上海9月10日电 (记者 郑莹莹)上海微技术工业研究院“超越摩尔”研发中试线10日在上海嘉定启动运营,这是中国国内首条、全球领先、兼容CMOS的8英寸研发中试线,旨在进一步推动中国“超越摩尔”技术和物联网创新应用快速发展。

  以移动互联网、物联网、云计算、大数据、人工智能等为代表的信息技术正加速创新、融合和普及应用。其中,超越摩尔技术以传感器为核心,结合射频、功率、微能源等技术,是未来实现万物互联的基础性、决定性核心技术之一。

  2017中国(上海)国际传感器技术与应用展览会(简称“SENSOR CHINA”)暨2017全球传感器与物联网产业峰会当天于此间举行。

  业界指出,中国“超越摩尔”领域,虽经历多年的理论研究与技术验证,积累了大量宝贵的知识和经验,但在真正放进产品进行实际应用时往往存在与生产平台脱节的情况。这都是源于MEMS产品的研发所涉及的技术链条较长,且其“非标”特性使得它的研发与创新需要和产线有一段比较长的磨合期,不同于CMOS的标准工艺,可以说对产线“严重依赖”。而中试就是必经阶段,是目前国内传感器厂家共同面临的挑战,据统计,科技成果经过中试,产业化成功率可达80%,未经中试成功率仅有30%。

  基于此背景,上海微技术工业研究院实施超越摩尔计划,争取在这一领域与国际领先水平并行。上海微技术工业研究院与国际领先的晶圆厂密切合作构建的8英寸“超越摩尔”研发中试线,不仅实现了从研发到量产的无缝衔接,更丰富完整了国内的超越摩尔生态链,是对标国际产业竞争的关键一环。

  据介绍,目前,在“超越摩尔”领域,相比于业界普遍使用的6英寸产线,贯通从研发到量产全程服务的SITRI的8英寸线是公认的领先技术。8英寸研发中试线将专注于“超越摩尔”传感器产品技术的开发,可以全面开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发,并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。作为国内第一条先进8英寸研发中试线,SITRI的8英寸研发中试线不仅可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务,有助于提升研发的成功率,更将助力实现“超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接。(完)

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